[20p-S321-1~16] 3.13 Semiconductor optical devices

[20p-S321-14] Performance Improvement of an EAM-Based Broadcast-and-Select Optical Switch Module

〇Yusuke Muranaka¹, Toru Segawa¹, Yoshihiro Ogiso¹, Takuro Fujii¹, Ryo Takahashi¹ (1.NTT Lab.)

Keywords:optical switch,electro-absorption modulator,optical packet switching

EAMゲートアレイを集積した分配選択型の高速な光スイッチに要素技術を導入し、モジュールの特性を向上させた。簡易なプロセスで作製可能な、埋め込み導波路型スポットサイズ変換器を集積し、光導波路と光ファイバとの高効率結合を実現した。さらに、EAMアレイ電極間に生じる電気クロストーク抑制のため、EAMに接続するパッシブ導波路の表面にグラウンド電極を形成することで、簡易な構造で光出力のパワー変動を抑制した。