[20p-S322-1~17] 1.6 超音波

[20p-S322-12] 高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― LiTaO₃基板への適用 ―

〇垣尾 省司¹、勝谷 信介¹、保坂 桂子¹ (1.山梨大院)

キーワード：リーキー弾性表面波、AlN薄膜、LiTaO3

高音速なAlN薄膜装荷によるリーキー弾性表面波(LSAW)の低損失化手法の，LiTaO₃(LT)基板への適用を理論的，実験的に検討した．0°YカットLTを用いた実験では，LSAWの挿入損失と伝搬損失が，AlN薄膜装荷後に格段に低減した．