[20p-S322-1~17] 1.6 超音波

△ [20p-S322-17] 【注目講演】アンテナ発振非接触圧電センサによる薄膜の形態変化モニタリング手法の開発

〇白岩 裕一郎¹、橋里 駿¹、中村 暢伴¹、荻 博次¹、平尾 雅彦¹ (1.阪大基礎工)

キーワード：金属薄膜、形態変化、モニタリング