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△ [20p-S421-6] マイルド酸素プラズマ機能化数層WSe2を用いた高性能光電子デバイスの開発
キーワード：光電子デバイス、二次元シート材料、プラズマ
近年，フレキシブル光電子デバイス等への応用の可能性から，新規半導体材料として遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）が大きな注目を集めている．筆者らは，プラズマを用いた二セレン化タングステン（WSe2）の光電気特性の制御を目的として系統的な実験を行った．本講演では，本研究室が独自に開発したマイルドプラズ機能化を行うことにより，WSe2-電極間のコンタクトを改善し，光電気伝導特性の大幅な向上に成功したので報告する．