[20p-S422-1~18] 13.5 Semiconductor devices and related technologies

[20p-S422-16] Coupled quantum-dot transport and its microwave response in short-channel tunnel field-effect transistors (TFETs)

〇Satoshi Moriyama¹, Takahiro Mori², Keiji Ono³ (1.NIMS, 2.AIST, 3.RIKEN)

Keywords:TFET,Quantum Dot,Single-electron Transport

トンネル電界効果トランジスタ(TFET) の量子効果デバイス応用として, 我々は, これまでTFETチャネル中に少数存在するダングリングボンド欠陥を介した単一電子伝導, Al-Nイオン注入で形成した深い準位を介する単一電子伝導を報告してきた。今回, Al-Nイオン注入を行った短チャネルTFET素子において直列2重結合量子ドット的な電子輸送を観測し, マイクロ波応答からフォトンアシストトンネル電流, および電流検出による電子スピン共鳴を観測したので報告する。