[20p-S422-1~18] 13.5 デバイス／集積化技術

[20p-S422-9] 平行電界型トンネルFETのTCADでの検討

〇福田 浩一¹、森田 行則¹、森 貴洋¹、水林 亘¹、昌原 明植¹、右田 真司¹、太田 裕之¹ (1.産総研)

キーワード：トンネルFET、TCAD