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[20p-S622-12] SiC表面フォノンポラリトンによる光アンテナ電界増強度の測定
キーワード:電界増強度、表面フォノンポラリトン、光アンテナ
我々は光検出器の上への光アンテナ搭載を検討している。これまで、Si基板上に中間層(SiO2やAl2O3)を形成し、その上にアンテナを搭載した構造を作製してきた。この構造で、中間層の厚さを変えたときの反射特性を調べるが、反射特性には表面フォノンポラリトン信号が含まれる。この信号の層厚依存性を観測することで、電界増強度の深さ依存性を把握することが出来る。SiO2やAl2O3は非晶質であったが、今回はより明瞭なSPhP信号が期待できるSiCを用いて調べた。