[20p-W321-1~13] 液中レーザープロセス技術の展開

[20p-W321-12] 液中レーザー溶融法により作製した銀サブミクロン球状粒子の内部構造と照射時間による影響

〇中村 貴宏¹、真柄 英之¹、榊 祥太²、越崎 直人²、佐藤 俊一¹ (1.東北大多元研、2.北大院工)

キーワード：サブミクロン球状粒子、パルスレーザー溶融法、後方散乱電子回折

本研究では，液中レーザー溶融法によるサブミクロン球状粒子形成の際にレーザー照射時間条件を変えて作製した試料を対象とし，確立した評価手法を用いて断面結晶構造解析を行うことで，粒子の成長様式についての検討を行った．レーザー照射時間100秒の試料では異形粒子が存在するとともに粒径分布にばらつきがみられるが，照射時間1,800秒の試料ではサブミクロン真球粒子が多数確認された．また，対応する観察領域のEBSD測定結果から，レーザー照射時間の経過とともに原料粒子に起因する微細な結晶粒が融合しサブミクロン球状粒子を形成していることが示唆された．