[20p-W321-1~13] 液中レーザープロセス技術の展開

[20p-W321-7] 多孔質Si の液中レーザー照射によるナノ結晶Si 粒子の高効率生成と発光色制御

〇中村 俊博¹、袁 澤²、安達 定雄¹ (1.群馬大院理工、2.筑波大院数理物質系)

キーワード：半導体ナノ結晶、発光、レーザーアブレーション

ナノ結晶化したSi（Nc-Si）は量子サイズ効果に起因した可視発光を示す．Nc-Siの作製には，様々な方法が提案されているが，近年，簡便な手法としてバルクSiへの液中レーザー照射法が報告された．しかし，この手法では，通常、生成収量は低く，粒径（発光色）の制御が困難であった．本研究では，これらの課題の解決を目指して，多孔質Siに対する液中レーザー照射によるNc-Si粒子の高効率生成と，発光色の制御を行った．