[20p-W641-1~9] 誘電体・強誘電体材料評価・解析技術の最先端

[20p-W641-7] 電気特性評価のための最新AFM測定モード

〇石井 孝治¹ (1.オックスフォード・インスト)

キーワード：原子間力顕微鏡、電気特性評価、強誘電体

導電性探針を用いるAFMにより、誘電体や強誘電体の微細領域における解析は、大きな進歩を遂げている。導電性や表面電位、ピエゾ応答、誘電率に起因したマッピングやスペクトロスコピー測定技術は、薄膜ばかりでなく多くのアプリケーションに対応できるようになった。本講演では、最新AFM測定モードを用いた誘電体および強誘電体の電気特性評価事例を紹介する。