2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[21a-H103-1~10] 6.4 薄膜新材料

2016年3月21日(月) 09:00 〜 11:45 H103 (本館)

鈴木 基史(京大)

10:15 〜 10:30

[21a-H103-5] 一軸加圧下熱処理による非晶質酸化モリブデン薄膜の固相結晶化

難波 諒太郎1、野沢 靖久1、譚 ゴオン1、土嶺 信男2、金子 智3,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技セ)

キーワード:酸化モリブデン、固相結晶化、熱ナノインプリント