[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-11] プラズマCVDによるc-Si/PEDOT:PSS太陽電池反射防止膜用a-SiOH膜の作製

〇笠原 浩司¹、ホサイン ジャケル²、劉 奇明²、石川 良²、上野 啓司²、白井 肇² (1.埼玉大工、2.埼玉大理工研)

キーワード：太陽電池、PEDOT:PSS、結晶シリコン

前回までに結晶Si/PEDOT:PSSヘテロ接合太陽電池は、簡単な素子構造で効率13％以上が得られることを報告してきた。しかしより一層の高効率化、信頼性向上のためには、ARコート、封止膜が求められる。前回までにスピンコート、霧化TiO₂、MoO_x塗布膜によるARコートを検討し、初期性能の向上には有効であったが、大気・光照射安定性向上に関しては尚多くの課題を残している。今回は、低圧プラズマCVD法で作製したa-SiOHのARコート及び封止効果を検討した。