[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-19] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成

〇熊田 竜也¹、川合 健太郎¹、永井 隆文²、足達 健二²、有馬 健太¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工、2.ダイキン工業)

キーワード：半導体、シリコン太陽電池

N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングにより、マイクロサイズの逆ピラミッドテクスチャ上にナノサイズのテクスチャを有したダブルテクスチャをSi表面に形成することができる。今回我々は、これまでの約0.5 cm径のエッチング領域を太陽電池セルのウエハサイズに拡大するため、ハロゲンランプを並列に配置して大面積光照射装置を作製し、エッチングを行っている。