[21a-S422-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[21a-S422-3] 【第7回シリコンテクノロジー分科会論文賞受賞記念講演】 スピン量子デバイスに向けた少数電子シリコン量子ドットの研究

堀部 浩介¹、〇小寺 哲夫¹、小田 俊理¹ (1.東工大)

キーワード：量子ドット、スピン、シリコン

少数電子シリコン量子ドット実現の研究のため、量子ドットの微細化と、僅か１つの電子数変化を読む出すことのできる電荷検出計の開発を行った。また、２重結合量子ドットに電子を１つずつ閉じ込めた状態の実現や、量子ドット間のトンネル結合の制御を行った。本講演では、上記の受賞対象論文の成果を含め、我々のグループの研究の進捗と、シリコン系でのスピン量子デバイスの研究動向について紹介する。