2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/集積化技術

[21a-S422-1~10] 13.5 デバイス/集積化技術

2016年3月21日(月) 09:00 〜 12:15 S422 (南4号館)

内田 建(慶大)、遠藤 哲郎(東北大)

11:00 〜 11:15

[21a-S422-6] SdH振動を用いたひずみSi pMOSFETにおける価電子帯有効質量の評価

嶋田 絢1、中根 了昌1、竹中 充1,2、高木 信一1,2 (1.東大院・工、2.JST-CREST)

キーワード:Si MOSFET、ひずみ、有効質量