[21a-S621-1~13] 3.11 フォトニック構造・現象

[21a-S621-7] ナノ共振器シリコンラマンレーザの周波数差,Ｑ値の統計的評価

〇(B)栗原 潤¹、山下 大喜¹、高橋 和¹、野田 進² (1.大阪府大院工、2.京大院工)

キーワード：シリコンフォトニクス

我々は，高Ｑ値フォトニックナノ共振器を用いた閾値1μWで室内連続発振するシリコンラマンレーザを開発してきた．このデバイスは，マルチステップヘテロ構造ナノ共振器に形成される2つの高Q値共振モードに，励起光とストークスラマン散乱光を閉じ込め、レーザ発振を実現している．今回，同一の構造を持つシリコンラマンレーザ素子を同一チップ上に50個作製して，Q値と周波数差のばらつきを評価したので報告する．