[21a-W321-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[21a-W321-2] ガラス材料間の超短光パルスマイクロ接合法における接合領域と接合強度の関係探索

〇玉木 隆幸¹、乾 永弥¹、松本 葵¹、渡邉 歴² (1.奈良高専、2.立命館大学)

キーワード：超短光パルスマイクロ接合、フェムト秒レーザー、接合

渦状の接合部領域を形成し，パルスエネルギー，溝間隔を変化させ，ガラス材料間の超短光パルスマイクロ接合行った．さらに，各実験条件における接合強度を測定した．このとき，70 N以上の引張強度，3 MP程度の引張強度が得られた．さらに，試料間隙が100 nmを超える場合においても，直径10 mm程度の接合が実現された．