[21a-W321-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[21a-W321-9] ホログラフィックライン整形ベクトルビームを用いたナノ周期構造の作製

〇長谷川 智士¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、ナノ周期構造作製、計算機ホログラム

我々は，高速・高効率なフェムト秒レーザー加工を実現するために，空間光変調器(SLM)に表示された計算機ホログラム(CGH)を用いたフェムト秒レーザー加工に関する研究を行っている．近年，我々は，複数のCGHを用いた波面と偏光の同時制御により得られる任意のベクトルビームを用いた加工法を提案した．それは，ホログラフィックベクトル波フェムト秒レーザー加工と呼ばれ，配向制御されたナノ周期構造の高速作製に有用となる．本報告では，大面積へのナノ周期構造の高速作製を目的として，ライン状の強度分布に整形されたベクトルビームを用いた加工について報告する．