11:15 〜 11:30
[21a-W611-9] タンデム型ECRイオン源における鉄蒸発源開発と鉄イオンビーム生成
キーワード:鉄、蒸発源、ECRプラズマ
鉄の蒸発源は固体材料の鉄を加熱し蒸発させる蒸発法を用いたが, 大量の鉄蒸気を安定して長時間導入することが課題になっていた. 本稿では, この課題解決に向けて新たに開発した蒸発源の特性と過去に作製した蒸発源との比較を行い, さらに, タンデム型ECRイオン源第1ステージでの鉄イオンビーム生成を行った結果について報告する.
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
11:15 〜 11:30
キーワード:鉄、蒸発源、ECRプラズマ