[21a-W834-1~5] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[21a-W834-1] 異なるBMO添加量を持ったREBCO薄膜中におけるナノロッド自己組織化の結晶成長シミュレーション

〇一野 祐亮^1,2、吉田 隆² (1.名大未来研、2.名大院工)

キーワード：自己組織化、REBCO薄膜、結晶成長シミュレーション

パルスレーザー蒸着(PLD)法などの気相法でREBa₂Cu₃O_y (REBCO, RE=Y, Sm, Gdなど)薄膜を成膜する際にBaMO₃ (BMO, M=Zr, Sn, Hfなど)を添加するとBMOがREBCO中でナノロッドやナノパーティクルに自己組織化し、強力な磁束ピンニングセンターとなる。そのため、自己組織化機構を明らかにすることが重要である。これまで我々は、Monte Carlo (MC)法を用いて、成膜温度や成膜レートが自己組織化に与える影響について検討した。
自己組織化はBMO添加量にも影響を受けるため、本発表では、BMO添加量が自己組織化に与える影響をシミュレーションした結果について報告する。