[21p-H103-1~21] 6.4 薄膜新材料

[21p-H103-11] プローバーコンパチ非破壊電気コンタクトプローブ

〇吉武 道子¹、柳生 進二郎¹、知京 豊裕¹ (1.物質・材料研究機構)

キーワード：極薄膜、非破壊、電気測定

試料を破壊せずに簡便に電気コンタクトを形成する方法を開発し、そのコンタクトプローブが市販のプローバーの同軸ケーブルに脱着可能な構造を開発し、電圧を印加する用途のみならず正確な電気特性測定に用いることができるようにした。