[21p-H113-1~18] 6.6 プローブ顕微鏡

[21p-H113-15] 厚いカンチレバーへの正面光照射による誘起振動の解析

〇山西 絢介¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹ (1.阪大院工)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、カンチレバー

近年、光の正面照射による原子間力顕微鏡を用いた光学特性の観測が報告されており、その研究において、試料の光学特性による力の信号と、カンチレバーの熱変形による振動の信号の分離は、非常に重要な要素である。そのため、本研究では、カンチレバーの光誘起の熱変形による振動に関する実験とその解析解を求め、シミュレーションを行った。