2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-H121-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

2016年3月21日(月) 13:15 〜 18:00 H121 (本館)

宮嶋 孝夫(名城大)、石井 良太(京大)、新田 州吾(名大)

13:15 〜 13:30

[21p-H121-1] 赤外反射分光によるGaN薄膜の電子特性深さ分解評価手法

〇上條 隆明1、坂本 裕則1、馬 蓓1、森田 健1、石谷 善博1 (1.千葉大院工)

キーワード：赤外反射分光、窒化ガリウム