17:00 〜 17:15
△ [21p-H121-14] アニール処理AlN下地層上AlGaN/AlN-MQWの光学特性
キーワード:AlN
高性能紫外発光素子の実現にサファイア上高品質AlN層の結晶成長は極めて重要である。これまで、サファイア上AlNを高温でアニールすることで結晶性が改善されるという報告がある。本研究では、アニールして高品質化したサファイア上AlN層を下地層としてMQW構造を再成長させ、その光学特性評価により、アニールしたAlN下地層の有用性を検討した。
一般セッション(口頭講演)
15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶
17:00 〜 17:15
キーワード:AlN