[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-1] 【講演奨励賞受賞記念講演】 焦点位置追尾が可能な実時間波動場再構成電子顕微鏡システムの開発

〇田村 孝弘¹、木村 吉秀¹、高井 義造¹ (1.阪大院工)

キーワード：透過型電子顕微鏡、その場観察、波動場再構成

近年，透過型電子顕微鏡 (TEM)を用いて実用環境下における材料の高分解能その場観察が行えるようになっている．しかし通常のTEM像には球面収差以外にも様々な収差が含まれているため，定量的な動的観察はいまだ困難な状況にある．
そこで本研究ではリアルタイムで波動場の再構成が可能な実時間波動場再構成法 (Real-Time DIMP)を用いて，これらの収差を補正した定量的な動的観察が行えるTEMシステムの開発を行った．