[21p-KD-1~9] 次世代高効率・低コスト結晶シリコン太陽電池

[21p-KD-3] CZシリコン単結晶における軽元素とバルクライフタイムの関係

〇柿本 浩一¹、宮村 佳児¹、原田 博文¹、中野 智¹、高 冰¹ (1.九大応力研)

キーワード：シリコン、ライフタイム、欠陥

太陽電池の効率向上のため、結晶シリコンのバルクライフタイム向上が求められている。ライフタイムは、酸素析出物や育成欠陥の影響を受けることが報告されている[1,2]。また、炭素濃度が10¹⁴ atoms/cm³以下では、ライフタイムは酸素濃度に依らず炭素濃度のみに依存すると報告されている[3]。今回、酸素濃度の比較的高いCZ結晶シリコンにおいて、バルクライフタイムに対する炭素濃度の影響を検証した。