[21p-P16-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[21p-P16-10] 直接貼付InP/Si基板上結晶成長膜の接合強度およびPL強度の圧力依存性評価

〇(B)大貫 雄也¹、松本 恵一¹、岸川 純也¹、西山 哲央¹、鎌田 直樹¹、下村 和彦¹ (1.上智大理工)

キーワード：InP/Si基板、有機金属気相成長、光配線