[21p-P2-1~7] 3.13 半導体光デバイス

[21p-P2-1] 半導体ナノ粒子分散SiO₂膜の形成と評価

〇出村 洋智¹、Alexander Ulyashin²、永吉 浩¹ (1.東京高専、2.SINTEF)

キーワード：太陽電池、ナノ粒子、PHPS

液体原料SiO₂であるパーヒドロポリシラザン(PHPS)は水蒸気アニーリングを行うことにより効果的なパッシベーション層を形成可能である。さらに、PHPSと半導体ナノ粒子を組み合わせることで新たな特性をもつコンポジット膜を形成可能であると考えた。形成したSiNPs/SiO₂膜は光照射により電子を引き寄せる特性が見られたため、この構造に金属ナノ粒子を加える事でキャリアを選択的に取り出す構造について検討している。