2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

2016年3月21日(月) 13:30 〜 15:30 P3 (屋内運動場)

13:30 〜 15:30

[21p-P3-21] RFスパッタリング法によって作製したBCN薄膜の発光特性

内島 一哉1、佐竹 聖樹2、澤畠 淳二3、中村 重之4、財部 健一5、福井 一俊6、池田 和聡6、伊藤 國雄1、山本 伸一1 (1.龍谷大理工、2.明石高専、3.茨城高専、4.津山高専、5.岡山理大、6.福井大工)

キーワード:ホウ素窒化炭素