[21p-S222-1~9] 金属酸化物薄膜の成膜装置

[21p-S222-1] 成膜技術の革新が支えた酸化物エレクトロニクスの発展とその未来

〇川﨑 雅司^1,2 (1.東大工、2.理研CEMS)

キーワード：酸化物、薄膜、トポロジカルエレクトロニクス

科学技術の発展にありがちな螺旋階段を登るような進展が、酸化物エレクトロニクスにも現れていると感じている。20世紀後半の「2大発見」は酸化物と量子機能を舞台に融合し、さらに大きなインパクトを科学技術に与えると期待している。そこを制する者は、成膜技術と物質/材料を独自の視点で突き詰めたグループだと思う。