[21p-S222-1~9] 金属酸化物薄膜の成膜装置

[21p-S222-4] ドイツにおけるスパッタ技術の最新動向

〇鈴木 巧一¹ (1.サーフテックトランスナショナル)

キーワード：パルススパッタ、フラウンホーファーFEP、フラウンホーファーIST

最先端の実用的PVD技術の開発で知られるフラウンホーファーFEPとISTの最新のスパッタ技術開発状況として、FEPの精密光学・低温・低ダメージ用RMカソード、大電力矩形波パルス電源、分光式プロセス制御技術、透明ガスバリアフィルムへの応用例と、ISTのHPIMSなどを紹介する。