[21p-S323-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[21p-S323-3] 繰り返し金ナノ粒子を散布することで作製した単一電子素子

〇守屋 雅隆¹、Tran Huong¹、松本 和彦¹、島田 宏¹、木村 康男²、平野 愛弓³、水柿 義直¹ (1.電通大、2.東京工科大、3.東北大)

キーワード：単一電子素子、ナノ粒子

ドレイン・ソース・ゲート電極を斜め蒸着法によって作製し、金ナノ粒子を繰り返し散布して単一電子素子を作製した。電流－電圧曲線にはクーロンブロッケード領域がみられた。