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△ [21p-S421-15] SiC基板上高密度CNT配向膜における電気伝導機構の解明
キーワード:カーボンナノチューブ、可変長ホッピング、薄膜
SiC基板上に形成した高密度CNT配向膜の伝導特性のCNT長による変化を調査し、伝導特性の解明を試みた。抵抗率の温度依存性は100 nm程度を境に反転し、長尺では金属的な、短尺では非金属的な性質を見せた。非金属的な特性を示した配向膜では、その伝導機構が可変長ホッピング(VRH)で記述可能であり、CNT長の変化に伴い、ES, Mott-2D, Mott-3DのVRHへと系統的に変化することを明らかにした。