[21p-W641-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [21p-W641-9] 走査型非線形誘電率顕微鏡における強誘電性Y:HfO₂薄膜のドメイン反転

〇陳 舟¹、平永 良臣¹、清水 荘雄²、片山 きりは²、三村 和仙²、舟窪 浩²、長 康雄¹ (1.東北大通研、2.東工大)

キーワード：強誘電体、走査型非線形誘電率顕微鏡、酸化ハフニウム薄膜

今、酸化ハフニウム薄膜の強誘電性が世界中から注目されている。本研究では、走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）を使って、Y:HfO₂薄膜を観察し、ドメイン反転実験を行った。また、Y:HfO₂薄膜表面にナノスケールのドットを書き込み、Y:HfO₂薄膜を強誘電体記録媒体として使う可能性を検討した。