[22a-P4-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22a-P4-6] ルチル型二酸化ルテニウム薄膜における電気輸送特性の膜厚依存性

〇沓澤 大^1,2、岡 大地²、福村 知昭²、長谷川 哲也^1,3 (1.東大院理、2.東北大院理、3.KAST)

キーワード：エピタキシャル薄膜、歪み、金属絶縁体転移