[22a-P4-1~27] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22a-P4-7] Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法によるSrTiO₃薄膜の結晶成長とアニール効果

〇富士原 巧¹、横田 晃伸¹、中村 基訓¹、吉本 健一¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：PLD、アニール効果、YAG