[22a-W621-1~11] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[22a-W621-3] プラズマ化学輸送法によるh-BN原子層の形成に向けて – キャリアガスの影響2

〇北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：h-BN、プラズマ

h-BNはグラフェンと同様に2次元エレクトロニクスを構成する要素としてナノエレクトロニクスでの応用が期待される。プラズマによるh-BN成膜へ向け、Ar-H₂混合ガス組成の影響を調べた。H₂-Ar混合プラズマによるアンモニアボランの化学輸送の促進がBNの形成量増加に繋がる可能性が示唆された。