09:15 〜 09:30 [7a-A201-2] 熱分解炭素被覆サセプタを用いたSiCエピリアクタクリーニング 塩田 耕平1、倉島 圭祐1、〇羽深 等1、伊藤 英樹2、三谷 慎一2、高橋 至直3 (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)