09:30 〜 11:30 [7a-PA6-5] 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたペロブスカイト型ランタンチタン酸窒化物の製膜 〇井上 忠彦1,2、村上 英司郎1,2、井上 政貴1,2、安達 裕2、大垣 武2、大橋 直樹1,2,3 (1.九大総理工、2.物質・材料研、3.東工大元素戦略)