15:00 〜 15:15 [8p-A411-7] 誘導帯電を利用した半導体デバイスの純水スプレー洗浄の静電気障害対策 〇清家 善之1、丹菊 大輝1、小林 義典2、宮地 計二2、甘利 昌彦2、森 竜雄1 (1.愛知工大、2.旭サナック)