10:00 〜 10:15 △ [7a-C19-4] Si系合金とSiCの交互PLD法による3C-SiC薄膜のVLS成長 〇山王堂 尚輝1、大住 亜朱香1、丸山 伸伍1、松本 祐司1 (1.東北大院工)