13:30 〜 15:30 [7p-PB6-5] 赤燐高ドープCZ-Si結晶におけるSi-P析出物の構造解析 〇仙田 剛士1、石川 高志1、藤森 洋行1、松村 尚1、成松 真吾1、安部 吉亮1、堀川 智之1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)