12:00 〜 12:15 [7a-A504-12] Si上GaInAs/InP p-i-n薄膜光検出器の感度特性の評価 〇顧 之チン1、瓜生 達也1、中村 なぎさ1、井上 大輔1、雨宮 智宏1、西山 伸彦1、荒井 滋久1 (1.東工大)