11:00 〜 11:15 △ [8a-A411-8] In-situプロセスによるHf系MONOS型不揮発性メモリの形成 〇(DC)工藤 聡也1、Mailig R.M.D.1、石松 慎1、大見 俊一郎1 (1.東工大)