16:00 〜 16:15 △ [7p-A402-11] マイクロ波励起大気圧プラズマを用いたZnO薄膜堆積法の検討 〇大野 常久1、山田 涼輔1、當摩 哲也1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1 (1.金沢大)