09:30 〜 11:30 [8a-PA2-6] RuO2チップ抵抗体における高温・通電劣化プロセスの光学的観測 〇中村 吉伸1、北中 佑樹1、宮山 勝1、伊藤 武2、浦野 幸一2、中島 智彦3、土屋 哲男3 (1.東大院工、2.KOA㈱、3.産総研)