2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[SP-16] テガサイエンス(株)

■ベンチトップ型真空システム、電子ビーム蒸着源、サーマルガスクラッカー、RFアトムソース、ナノクラスターソース、有機蒸着源、その他薄膜成膜ソース