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■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。
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■受託加工サービス ■ナノインプリント用モールド ■窒化物半導体エピタキシャルウエハ ■KTN関連製品
■MBE装置、MOCVD装置、HVPE装置、SiC用超高温プロセス炉、アニール装置、KOHエッチング装置、VCSEL用酸化装置
■APEX, JJAP見本誌等
■顕微分光膜厚系 OPTMシリーズ ■量子効率測定システム QE-2000シリーズ
■光学単結晶、波長変換素子、波長変換器、3波長レーザ、CW266nm DUVレーザ、スペックルコントラスト
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■Zurich Instruments社 デジタル600MHzロックインアンプ、任意波形ジェネレータ
■OceanOptics社小型分光 ■Labsphere社積分球・反射標準 ■NN-Labs社量子ドット ■Zarbeco社ハンドヘルドデジタル顕微鏡
■マルチイオンビーム顕微鏡 ORION NanoFab
■高性能‥空冷ドライ真空ポンプ; NeoDry 7E, 15E
■半導体プロセスガスモニタリングシステム ■ポータブル型高分解能 TOF-MS infiTOF-UHV
■電気計測器 ■顕微鏡 等
■CVD、ALDのプリカーサー ■受託成膜・耐性試験 リーフレット
~東京都大田区の研究開発用真空機器・装置装置メーカーです~ 【研究開発用実験装置・機器・部品】 ・OLED試作用デバイス製造装置(1インチ~4インチ)※省スペース・短納期・低コスト ・自動蒸着制御ソフトウエアのご紹介(窒化物半導体、有機半導体蒸着レシピの作成) ・小型有機/金属蒸着セル(ICF-70)/ 分析装置用コンポーネント展示 ・各種導入機(直線・回転導入機) ・各種加工部品(特殊材料...
■APS, OSA, ECS, SEG等 物理系学会出版社のジャーナル展示及びデモンストレーション
■九州大学 微細加工構造解析プラットフォームの事業内容および利用事例ポスター、パンフレット
■酸化物単結晶 ■半導体単結晶 ■金属単結晶 ■その他単結晶
■薄膜作製用単結晶基板(酸化物、アルカリハライド、金属、等)
■REBCO超伝導薄膜・線材
■光学材料(赤外窓材、レンズ、プリズム、等)