[5a-A204-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

[5a-A204-3] 円筒型回転ステージを用いたフレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の窒素ブースト大気圧プラズマジェット照射による連続結晶成長

〇中野 航¹、花房 宏明¹、東 清一郎¹ (1.広大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマジェット