2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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CS コードシェアセッション » 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5a-S44-1~11] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

2017年9月5日(火) 09:00 〜 12:00 S44 (第5会議室)

豊田 光紀(東北大)

10:45 〜 11:00

[5a-S44-7] フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション

市丸 智1、錦野 将元2、石野 雅彦2、木下 博雄3、犬伏 雄一4、東口 武史5、鷲尾 方一6、坂上 和之7、大和田 成起8、羽多野 忠9、畑山 雅俊1、大知 渉之1、Dinh-Thanh Hung2、今 亮4、原 広行5、山内 駿5、小倉 拓人5、篠崎 夏美5、小柴 裕5、高橋 孝6、西留 武宏6、奥 哲1 (1.NTT-AT、2.量研関西研、3.兵庫県立大、4.JASRI、5.宇大院工、6.早大理工研、7.早大高等研、8.RIKEN、9.東北大多元研)

キーワード:EUV多層膜、アブレーション、耐久性